코팅 작업 완료 후 코팅 팬 내부와 외부, 급기 및 배기 덕트를 노즐을 이용하여 청소할 수 있는 장치이다.

별도의 WIP rack이 있어 냉수, 온수, 정제수 및 세제를 공급하며 sequence를 사용자가 program 할 수 있다. 세척이 완료되면 열 교환기를 이용하여 열풍을 넣어 건조 시킬 수 있다.